위치결정 스테이지 ILS시리즈

각 공정에 있어서 CASSETTE STATION의
유리반송용 카세트를 심플하게 위치를
지정하기 위한 스테이션 유닛.
미끄러지듯이 모든 방향으로 이동함으로써
미묘한 위치결정을 단시간에 완료.
무부하 시에는 항상 원점으로 복귀해
다음 카세트를 기다립니다.

유리기판의 대형화에 따른
카세트사이즈도 커지고 있습니다.
ILS시리즈는 이와 같은 시장의 요구에
대응하기 위해 종래보다도
컴팩트화를 꾀하고 무거운 하중에
견딜수 있는 유니트로서 제품화를
시행하고 있습니다.
또 가중부를 HOLD시킬수 있는 타입도
준비하고 있습니다.
더욱이 복합적인 움직임에도
대응할 수 있는 유닛의 투입에 의해
시스템화 구축의 일익을 맡고 있습니다.